| 主权项 |
1.一种乾式降湿系统,使用乾式降湿装置对目的室低供给露点空气,其特征为:在构造上将3段令处理空气通过自由转动之转子内,而令该处理空气降湿之乾式降湿装置串接成系统,在第二段乾式降湿装置将在第一段乾式降湿装置降湿之空气降湿,再在第三段乾式降湿装置将在第二段乾式降湿装置降湿之空气降湿;该第二段及第三段之乾式降湿装置各自具有令处理空气通过自由转动之转子内,而令该处理空气降湿之构造,位于该转子之端面侧之空气之通过区域被划分成降湿区域和再生区域以及清除(purge)区域,将这些各区域配置成在利用转子之转动自再生区域移至降湿区域之前位于清除区域;在构造上在该第一段乾式降湿装置降湿之空气被分流后,其一部分被引至该第二段乾式降湿装置之清除区域,而且通过了该清除区域之空气和通过了该第三段乾式降湿装置之再生区域之空气混合后,被引至该第二段乾式降湿装置之再生区域,该分流之空气之剩下之一部分被引至该第二段乾式降湿装置之降湿区域;及在构造上通过了该第二段乾式降湿装置之降湿区域之空气被分流后,其一部分被引至该第三段乾式降湿装置之清除区域,而且通过了该清除区域之空气被引至该第三段乾式降湿装置之再生区域,该分流之空气之剩下之一部分被引至该第三段乾式降湿装置之降湿区域,通过了该降湿区域之空气被引至该目的室。2.如申请专利范围第1项之乾式降湿系统,其中,在构造上来自该目的室之回气之一部分在该分流前和通过了该第二段乾式降湿装置之降湿区域之空气混合。3.如申请专利范围第1项之乾式降湿系统,其中,在构造上来自该目的室之回气之一部分在该分流前和通过了该第一段乾式降湿装置之降湿区域之空气混合。4.一种洁净空气制造方法,用以制造气体杂质浓度1ppb以下之洁净空气,其特征在于:将3段令处理空气通过具有矽胶或金属矽酸盐之自由转动之转子内而令该处理空气降湿之乾式降湿装置串接成系统;及在第二段乾式降湿装置将在第一段乾式降湿装置降湿处理之空气降湿处理,再在第三段乾式降湿装置将在第二段乾式降湿装置降湿处理之空气降湿处理而洁净化化。5.一种洁净空气供给系统,用以将气体状杂质浓度1ppb以下之洁净空气供给至目的室,其特征为:在构造上将3段令处理空气通过具有矽胶或金属矽酸盐之自由转动之转子内而令该处理空气降湿之乾式降湿装置串接成系统,在第二段乾式降湿装置将在第一段乾式降湿装置降湿处理之空气降湿处理,再在第三段乾式降湿装置将在第二段乾式降湿装置降湿处理之空气降湿处理;该第二段及第三段之乾式降湿装置各自具有令处理空气通过自由转动之转子内而令该处理空气降湿之构造,位于该转子之端面侧之空气之通过区域被划分成降湿区域和再生区域以及消除区域,将这些各区域配置成在利用转子之转动自再生区域移至降湿区域之前位于清除区域;在构造上在该第一段乾式降湿装置降湿之空气被分流后,其一部分被引至该第二段乾式降湿装置之清除区域,而且通过了该清除区域之空气和通过了该第三段乾式降湿装置之再生区域之空气混合后,被引至该第二段乾式降湿装置之再生区域,该分流之空气之剩下之一部分被引至该第二段乾式降湿装置之降湿区域;且在构造上通过了该第二段乾式降湿装置之降湿区域之空气被分流后,其一部分被引至该第三段乾式降湿装置之清除区域,而且通过了该清除区域之空气被引至该第三段乾式降湿装置之再生区域,该分流之空气之剩下之一部分被引至该第三段乾式降湿装置之降湿区域,通过了该降湿区域之空气被引至该目的室。6.如申请专利范围第5项之洁净空气供给系统,其中,在构造上来自该目的室之回气之一部分在该分流前和通过了该第二段乾式降湿装置之降湿区域之空气混合。7.如申请专利范围第5项之洁净空气供给系统,其中,在构造上来自该目的室之回气之一部分在该分流前和通过了该第一段乾式降湿装置之降湿区域之空气混合。8.一种洁净空气供给系统,用以将气体状杂质浓度1ppb以下之洁净空气供给至目的室,其特征为:在构造上将3段令处理空气通过具有矽胶或金属矽酸盐之自由转动之转子内而令该处理空气降湿之乾式降湿装置串接成系统,在第二段乾式降湿装置将在第一段乾式降湿装置处理之空气降湿处理,再在第三段乾式降湿装置将在第二段乾式降湿装置降湿处理之空气降湿处理;该第二段及第三段之乾式降湿装置各自具有令处理空气通过自由转动之转子内而令该处理空气降湿之构造,位于该转子之端面侧之空气之通过区域被划分为降湿区域和再生区域以及清除区域,将这些各区域配置成在利用转子之转动自再生区域移至降湿区域之前位于清除区域;在构造上在该第二段乾式降湿装置降湿之空气被分流后,其一部分被引至该第二段乾式降湿装置之清除区域,而且通过了该清除区域之空气和通过了该第二段乾式降湿装置之再生区域之空气混合后,被引至该第一段乾式降湿装置之再生区域,该分流之空气之剩下之一部分被引至该第三段乾式降湿装置之降湿区域;且在构造上通过了该第三段乾式降湿装置之降湿区域之空气被分流成三部分,其中一部分被引至该第三段乾式降湿装置之清除区域,其他一部分利用再生加热器加热后被引至该第三段乾式降湿装置之再生区域,而且通过了该清除区域及再生区域之空气被引至该第二段乾式降湿装置之再生区域,该分流之空气之剩下之一部分被引至该目的室。9.如申请专利范围第8项之洁净空气供给系统,其中,在构造上来自该目的室之回气之一部分在该分流前和通过了该第二段乾式降湿装置之降湿区域之空气混合。10.如申请专利范围第8项之洁净空气供给系统,其中,在构造上来自该目的室之回气之一部分在该分流前和通过了该第一段乾式降湿装置之降湿区域之空气混合。图式简单说明:第一图系表示本发明之实施列之洁净空气供给系统之构造之概略之说明图。第二图系表示在第一图之洁净空气供给系统使用之第一段乾式降湿装置之转子部分之立体图。第三图系表示令第一图之洁净空气供给系统运转时各段之乾式降湿装置之出口空气之露点温度及气体成分浓度之量测値之图表。第四图系表示在令通过转子之降湿区域而分流之系统之各点之压力损失之说明图。第五图系表示在第一图之系统之第三段乾式降湿装置之周边之各点之压力损失之说明图。第六图系表示本发明之别的实施列之洁净空气供给系统之构造之概略之说明图。 |
