发明名称 半导体装置及其制造方法(三)
摘要 课题:本发明系欲提供,于制造将多数之半导体晶片作封装之半导体装置之时,能予降低不良率,并且,能提升各半导体晶片之良否检查之效率的半导体装置及其制造方法。解决课题之装置:本装置系将多数之相异种类的半导体晶片(l),在基板(2)上作COB封装,并以树脂(3)封闭经予封装半导体晶片(l)之基板(2)面。然后,以l次进行封装于基板(2)之多数的半导体晶片(l)之良否检查,并将从经予判定为良品之半导体晶片(l),即邻接之2个相异种类的半导体晶片(l),作组合而予切割半导体装置(10)。
申请公布号 TW436950 申请公布日期 2001.05.28
申请号 TW087107579 申请日期 1998.05.15
申请人 新泻精密股份有限公司 发明人 池田孝巿;池田毅
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种半导体装置,其构成特征在于:将多数之相异种类的半导体晶片,封装在基板上并作树脂封闭之后,因应各半导体晶片之良否检查结果而将所定之多数个作为单位,并予切割前述半导体晶片而予形成。2.一种半导体装置之制造方法,其特征在于包含有:第1工程,系将多数之相异种类的半导体晶片封装在基板上;第2工程,系以树脂封闭前述所封装之多数的半导体晶片;第3工程,系对前述多数之各个半导体晶体进行良否检查;及第4工程,系以前述良否检查结果为依据,并将所定之多数个作为单位而切割前述半导体晶片。3.如申请专利范围第2项所记载之半导体装置的制造方法,其中:在前述第1工程所封装之前述多数的半导体晶片,系形成在前述基板之一面上;及将于前述第3工程上之前述良否检查,在介着对应于前述多数之半导体晶片,而形成在前述基板之另一面上之端子,进行该检查。图式简单说明:第一图系表示本实施态样之半导体装置的制造工程。第二图系表示封装半导体晶片前之基板的部份构造。第三图系表示于第二图所示之基板上,封装半导体晶片之状态。第四图系表示封装在基板之半导体晶片之切割方法的一例。第五图系表示进行浮片晶片封装之场合,其半导体晶片与基板之连接状态。第六图系表示具有CIB构造之半导体晶片与基板之截面。第七图系说明依转移模型作树脂成型之概要。第八图系表示使用LCC方式之外部连接端子之场合的半导体装置之部份构造。第九图系说明使用LCC方式之外部连接端子的场合之外部连接端子的形成过程。
地址 日本