发明名称 积体电路之静电放电保护电路
摘要 一种积体电路之静电放电保护电路。系于共用源极上分别植入高浓度P+与N+交错之基底接地区,并于此P+与N+交界之基底接地区上设有边缘接触点,使得PN接面间之基底电阻值趋近于零,达到快速ESD开启及增加闭锁的功能。更由于高浓度基底接地区延伸至共用源极,故可快速导通保护电路,并轻易地将超额静电引导至基底上,有效防止后端之内部电路的闸极氧化层遭受到破坏,以达到更佳的静电放电保护效果。
申请公布号 TW437050 申请公布日期 2001.05.28
申请号 TW088122139 申请日期 1999.12.16
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 徐振聪
分类号 H01L23/60 主分类号 H01L23/60
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种积体电路之静电放电保护电路,包括:一基底;一共用源极,位于该基底上,且该共用源极上方设有复数个第一接触点,以连接至一接地电压;一汲极,位于该基底上,该汲极与该共用源极系呈钉耙交错状,且该汲极上方设有复数个第二接触点,以连接至一输入端点;以及一呈方框状之高浓度基底接地区,设置于该共用源极与该汲极之外围,用以供该基底接地之用;其中,该汲极之各臂面积比该共用源极之各臂面积还宽,且于该共用源极之各臂中分别植入有一高浓度P+与N+交错之基底接地区,使设于该共用源极上之各该第一接触点分别位于该高浓度P+与N+交错之基底接地区的各交界处上。2.如申请专利范围第1项所述之积体电路之静电放电保护电路,其中该第一与该第一接触点之构成形状包括圆形。3.如申请专利范围第1项所述之积体电路之静电放电保护电路,其中相邻之该些第一与第二接触点间形成有一闸氧化层。4.如申请专利范围第3项所述之积体电路之静电放电保护电路,其中该闸氧化层内介于该共用源极之该些第一接触点与该汲极之该些第二接触点间分设有一复数矽闸极。5.如申请专利范围第1项所述之积体电路之静电放电保护电路,其中该静电放电保护电路系由N通道或P通道之MOSFET构成。6.如申请专利范围第1项所述之积体电路之静电放电保护电路,其中该呈方框状之高浓度基底接地区延伸至该共用源极。图式简单说明:第一图A绘示的是习知一种ESD保护电路的俯视图;第一图B绘示的是第一图A之ESD保护电路的剖面图;第二图A绘示的是习知另一种ESD保护电路的俯视图;第二图B绘示的是第二图A之ESD保护电路的剖面图;第三图绘示的依照本发明一较佳实施例的一种ESD保护电路的俯视图。
地址 新竹科学工业园区新竹市力行二路三号