发明名称 板状材之夹头及吸引盘
摘要 移载晶圆等板状材时,将板状材以多个支持销支持,使用吸引盘来真空吸引板状材,而吸引盘不接触于板状材以把持板状材之装置。将发生于板状材(51)与吸引盘(8)间之真空,透过杆(9)之连通孔(ll)导引至中空弹性体(3),由中空弹性体之伸缩驱动吸引盘,将吸引盘不接触于板状材吸引板状材,在支持销(5)上把持板状材。吸引盘系具有在吸引面(S)围住内部之连续形状之沟之外环部(49),在吸引面内部经由连通孔导入真空来吸引板状材。
申请公布号 TW436395 申请公布日期 2001.05.28
申请号 TW088121404 申请日期 1999.12.07
申请人 克来特股份有公司 发明人 德永春雄
分类号 B25J15/06;H01L21/68 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人 何金涂 台北巿大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种板状材之夹具,包括有: 夹头主体(1),可使板状材(51)由多个支持销(5)所支 持; 吸引装置(2),它对夹头主体成可摇动之结合,与板 状材成对向之部分上具有吸引盘(8,38,48); 中空弹性体(3),当夹头主体与吸引装置结合,板状 材(51)与吸引盘(8,38,48)之间所产生的真空驱动了吸 引装置(2)之时,该中空弹性体(3)可使吸引盘与板状 材维持不接触之状态。2.如申请专利范围第1项之 板状材之夹头,其中在夹头主体(1)之把持腕(4)上安 装多个支持销(5),托架(7)以及轴承(6),具有杆(9,19) 之吸引装置(2)经由中空弹性体(3)而结合到托架(7), 而且装在吸引装置(2)之杆(9,19)之的轴(10)在该轴承 (6)上枢转固定,中空弹性体(3)及吸引装置(2)之吸引 盘(8)与连接到真空源(V)之连通孔(11)相连通。3.如 申请专利范围第1项之板状材之夹头,其中在夹头 主体(1)之把持腕(4)上安装多个支持销(5),并且形成 中空部(37),中空弹性体(3)上装设之隔膜(33)覆盖在 该中空部(37)上,而且使吸引盘(38)及连通孔(31)所形 成的吸引装置(2)被安装在中空弹性体(3)之隔膜(33) 上,中空部(37),吸引盘(38)以及夹头主体(34)之连通 孔(31)被连通到真空源(V)。4.一种板状材之夹头之 吸引盘,其特征为:在吸引面(S)上具有围住内部之 连续沟之外环部(49),以及具有从该外环部向内侧 上形成的连通孔,使吸引面(S)之内部上导入真空而 将板状材(51)吸住。图式简单说明: 第一图系有关本发明之第1实施例之平面图。 第二图系第一图之A-A线剖面图。 第三图系第二图之B-B线剖面图。 第四图系第一图之C线剖面图。 第五图系有关本发明之第2实施例之平面图。 第六图系第五图之D-D线纵剖面图。 第七图系有关本发明之第3实施例之平面图。 第八图系第七图之E-E线详细剖面图。 第九图系有关本发明之吸引盘之平面图。 第十图系第九图之F-F线纵剖面图。 第十一图系有关本发明之吸引盘之特性图。
地址 日本