| 主权项 |
1.一种盐,其特征为一种如下式(1-1)所示之分子 中之苯基上具有由第三丁氧基、第三丁氧羰氧基 、第三丁氧羰甲氧基、1-乙氧乙氧基、四氢喃 氧基、四氢喃氧基中所选出之取代基,及具有由 2,2,2-三氟乙基磺酸盐、p-氟苯基磺酸盐、七氟苯 基磺酸盐中选出之磺酸盐者; (1-1) (式中,OR2表示第三丁氧基、第三丁氧羰氧基、第 三丁羰甲氧基、1-乙氧乙氧基、四氢喃氧基、 四氢喃氧基中所选出之取代基,Y-表示由2,2,2-三 氟乙基磺酸盐、p-氟苯基磺酸盐、七氟苯基磺酸 盐中选出之磺酸盐者;n为0-2之整数,m为1-3之整数, 且n+m为3;r各自为0或1,且不同时为0;p为0或1;且Me为 甲基。)2.一种化学增幅之正型光致抗蚀材料,其特 征为对硷可溶性树脂70-90重量份含有1-3重量份之 如申请专利范围第1项中式(1-1)所示之盐。3.一 种化学增幅之正型光致抗蚀材料,其特征系含有 (A)300-700重量份之有机溶剂, (B)70-90重量份之硷可溶性树脂, (C)5-20重量份之具有酸不安定基之溶解阻止剂, (D)1-5重量份之如申请专利范围第1项中式(1-1)所示 之盐, (E)0.5-5重量份之酸产生剂。4.一种化学增幅之正型 光致抗蚀材料,其特征系含有 (A)300-700重量份之有机溶剂, (B)70-90重量份之硷可溶性树脂, (D)1-5重量份之如申请专利范围第1项中式(1-1)所示 之盐, (E)0.5-5重量份之酸产生剂。5.如申请专利范围第2.3 或4项之光致抗蚀材料,其中,作为(B)成份之硷可溶 性树脂系使用一部份羟基之氢原子被酸不安定基 所取代之重量平均分子量为3000-100,000的聚羟基苯 乙烯。 |
