发明名称 SYNCHRONOUS MULTIPLEXED NEAR ZERO OVERHEAD ARCHITECTURE FOR VACUUM PROCESSES
摘要
申请公布号 KR20010042722(A) 申请公布日期 2001.05.25
申请号 KR1020007011444 申请日期 2000.10.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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