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发明名称 MULTIPLE STEP METHODS FOR FORMING CONFORMAL LAYERS
摘要
申请公布号 KR20010043541(A) 申请公布日期 2001.05.25
申请号 KR1020007012652 申请日期 2000.11.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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