发明名称 DEPOSITING A MATERIAL OF CONTROLLED, VARIABLE THICKNESS ACROSS A SURFACE FOR PLANARIZATION OF THAT SURFACE
摘要
申请公布号 KR20010042493(A) 申请公布日期 2001.05.25
申请号 KR1020007011118 申请日期 2000.10.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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