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发明名称 PROTECTIVE MEMBER FOR INNER SURFACE OF CHAMBER AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20010043079(A) 申请公布日期 2001.05.25
申请号 KR1020007011960 申请日期 2000.10.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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