| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR DIAGNOSIS OF ABNORMALITY IN PROCESSING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG80538(A1) |
申请公布日期 |
2001.05.22 |
| 申请号 |
SG19960006395 |
申请日期 |
1996.03.01 |
| 申请人 |
SONY DISPLAY DEVICE (SINGAPORE) PTE LTD |
发明人 |
SENG CHIN CHYE;MADENOKOJI AKIHIDE;SHIBASAKI TETSURO |
| 分类号 |
G05B19/05;G06F11/00;G06F11/22;G06F11/25;G06F11/26;(IPC1-7):G06F11/22 |
主分类号 |
G05B19/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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