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经营范围
发明名称
POST-ETCH INSPECTION SYSTEM
摘要
申请公布号
IL135419(D0)
申请公布日期
2001.05.20
申请号
IL20000135419
申请日期
2000.04.02
申请人
ORBOTECH LTD.
发明人
分类号
G01N21/956;(IPC1-7):G01N
主分类号
G01N21/956
代理机构
代理人
主权项
地址
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