| 摘要 |
1. Установка формирования рабочего слоя магнитно-анизотропного элемента (МАЭ) произвольной форм и объема с заданным распределением силовых линий магнитного потока над поверхностью рабочего слоя методом физического осаждения ионов, содержащая вакуумную камеру с источником (Ист) ионов, основание с креплением для подложки и маскировочного трафарета, систему высокотемпературных нагревателей (Нагр) до температуры не менее чем 800C, систему датчиков контроля, отличающаяся тем, что содержит механизм вращения, который для крепления несущих элементов - подложек (НЭ) различной формы содержит узлы крепления для одного или нескольких (до 2-8 штук) оснований с одним или несколькими НЭ, механизм вращения дополняется подъемным механизмом, на каждом из оснований размещены система удержания одного или более НЭ и система периодического поворота и/или стабильного вращения НЭ вокруг одной или нескольких его осей и/или одной или нескольких внешних осей, плавное вращение (от 0,1 до 10 об/мин) или поворот плоского, шарообразного, конической, цилиндрической, кубической или другой формы НЭ осуществляется при контроле стабильного вращения или периодического поворота НЭ с заданной скоростью вращения или периодом поворота, НЭ выполнены полыми или цельнолитыми, плоской формы и/или различной конфигурации, в количестве от 2 до 10-15 НЭ с малыми размерами (от 20-60 мкм до 3-8 мм), материал магнитного слоя МАЭ имеет магнитную анизотропию в направлении поперек толщины магнитного слоя со степенью анизотропии не менее 0,8, система вращения НЭ вокруг их оси и/или осей обеспечивает медленное и/или быстрое вращение от 1 до 10 об/с (от 0,1 до 10 обор/мин), соответств |
