Verfahren zum Behandeln einer Isolierschicht,申请号DE20001080365T-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zum Behandeln einer Isolierschicht
摘要
申请公布号	DE10080365(T1)	申请公布日期	2001.05.17
申请号	DE20001080365T	申请日期	2000.02.24
申请人	TRIKON HOLDINGS LTD., NEWPORT	发明人	DOBSON, CHRISTOPHER DAVID
分类号	H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311	主分类号	H01L21/3105
代理机构		代理人
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