| 主权项 |
1.一种防止管路粉末倒灌入真空反应室的方法,系应用于一制程设备,该制程设备更包括一直空反应室,一连接该真空反应室与一真空泵之真空管路,以及一装设于该真空管路上之气动式隔离阀,该方法包括:当该真空泵发生异常而停止运转时,便输出一信号于直接连接该气动式隔离阀与该真空泵之间的一介面装置;以及该介面装置接收到该真空泵输出之该信号,便会关闭该气动式隔离阀,用以防止该制程设备之该真空管路中的粉末倒灌入该真空反应室。2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该介面装置包括硬体内锁装置。3.如申请专利范围第2项所述之方法,该硬体内锁装置包括固态继电器。4.一种关闭气动式隔离阀的方法,提供一真空泵,一气动式隔离阀,一介面装置,以及一隔离阀,其中该真空泵与该介面装置连接,该介面装置又与该隔离阀连接,且该介面装置控制该隔离阀的开或关,该隔离阀与该气动式隔离阀连接,且该隔离阀控制该气动式隔离阀的开或关,该方法包括:当该真空泵输出一异常停止的信号于该介面装置时,该介面装置便会关闭该隔离阀,便得该气动式隔离阀关闭。5.如申请专利范围第4项所述之方法,其中该介面装置包括硬体内锁装置。6.如申请专利范围第5项所述之方法,该硬体内锁装置包括固态继电器。7.一种防止多粉末附产物制程设备之真空管路粉末倒灌入真空反应室的方法,提共一真空泵,其中该制程设备包括一真空反应室,一连接该真空反应室与该真空泵之真空管路,以及一装设于该真空管路上之气动式隔离阀,该方法包括:当该真空泵发生异常而停止运转时,便输出一信号于直接连接该气动式隔离阀与该真空泵之间的一硬体内锁装置;以及该硬体内锁装置接收到该真空泵输出之该信号,便会关闭该气动式隔离阀,用以防止该制程设备之该真空管路中的粉末倒灌入该真空反应室。8.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该硬体内锁装置包括固态继电器。图式简单说明:第一图所绘示的是习知真空制程设备之简单配置图;第二图其所绘示的是习知控制气动式隔离阀运作的简单示意图;第三图所绘式的是依照本发明第一较佳实施例,一种真空制程设备之简单配置图;第四图所绘示的是第一实施例中,控制气动式隔离阀运作的简单示意图;第五图所绘示的是依照本发明第二较佳实施例,一种真空制程设备之简单配置图;以及第六图所绘示的是第二实施例中,控制气动式隔离阀运作的简单示意图。 |
