| 主权项 |
1.一种可延长预防保养周期之直立式氮化矽炉管结构,包括:一外管;一内管,配置于该外管之内部,且该内管具有一气体流入端与一气体流出端;一内外管承载器,用以承载该外管及该内管,且该内外管承载具有一气体流入口与一气体流出口,该气体流入口用以接收一制程气体,使该制程气体可依序经由该气体流入口、该内管之该气体流入端、该气体流出端、该外管及该气体流出口流出;一护环,配置于该外管与该内外管承载器间,用以使该外管与该内外管承载器相互紧密连接;一冷却水流道,配置于该护环之外侧,该冷却水流道具有一冷却水入口及一冷却水出口,用以使一冷却水经由该冷却水入口流入,再从该冷却水出口流出,藉以冷却保护该外管与该内外管承载器间之该护环;以及一热交换器,配置于该内外管承载器之底部,用以提供热源给该内外管承载器。2.如申请专利范围第1项所述之可延长预防保养周期之直立式氮化炉管结构,其中该热交换器用以将该内外管承载器之底部加热至约摄氏170度左右。3.如申请专利范围第1项所述之可延长预防保养周期之直立式氮化炉管结构,其中控制该冷却水的流量,包括开至约10升/分钟。4.如申请专利范围第1项所述之可延长预防保养周期之直立式氮化炉管结构,其中该直立式氮化矽炉管结构之预防保养周期包括在750次以上。图式简单说明:第一图绘示的是习知一种直立式氮化矽炉管的结构剖面示意图;以及第二图绘示的是依照本创作一较佳实施例的一种直立式氮化矽炉管的结构剖面示意图。 |
