| 主权项 |
1.一种经化学增幅之正型光阻材料,其特征为所含作为溶解控制剂之化合物系重量平均分子量为100-1,000,且分子内含有2个以上苯酚性羟基之化合物,且该苯酚性羟基之氨原子受酸不稳定基平均部份取代10-80%之化合物,又,上述含有2个以上苯酚性羟基之化合物系为一种或二种以上选自以下式(1)-(9)所示化合物者,(其中,R1,R2各为氢原子或碳数1-8之直链或支链烷基或烯基,R3为氢原子或碳数1-8之直链或支链烷基或烯基,或为(R7)s-COOH,R4为-(CH2)t -(t=2-10)、C6-C10之伸芳基、羰基、磺基、氧原子或硫原子,R5系C1-C10之伸烷基、C6-C10之伸芳基、羰基、磺基、氧原子或硫原子,R6为碳数1-8烷基、烯基、氢原子、受羟基取代之苯基或基,R7为碳数1-10之直链或支链伸烷基;又,K为0-5的整数、s为0或1;m,n,m',n',m",n"各满足m+n=8.m'+n'=5.m"+n'=4之关系式,且为各苯基骨架中至少含有1个羟基之数;p为2以上且重量平均分子量为100-1,000范围内之数目)。2.一种经化学增幅之正型光阻材料,其系含(A)有机溶媒(B)以酸不稳定基所保护之硷不溶性或硷难溶性之树脂,该酸不稳定基被解离时可成硷可溶性之树脂(C)溶解阻碍剂(D)酸产生剂(E)申请专利范围第1项内容所述之溶解控制剂。3.如申请专利范围第1或2项所述之正型光阻材料,其中该树脂系使用如下记式(10)所示,其中q/(q+r)(保护取代率)为0.05-0.8范围之分子中,羟基中部份氢原子受酸不稳定基所保护,且重量平均分子量为1,000-50,000之聚羟基苯乙烯所得者…(10)(式中,R为酸不稳定基,q、r各自为q/(q+r)为0.05-0.8范围内之数目)。 |
