| 主权项 |
1.一种抛光晶圆表面之装置,其利用一夹头固定晶 圆并将晶圆推至旋转抛光桌之抛光垫上,其中: 该夹头包含一头部本体,一运搬器以及一固定环, 该头部本体转动并与抛光桌相对配置,该运搬器藉 由头部本体支撑着上下移动,该固定环藉由头部本 体支撑着上下移动并沿着运搬器外侧周边同心配 置,因此在抛光时环绕着晶圆之周边; 一第一推进机构在该头部本体底面下方沿着外侧 周边配置,其推动支撑着晶圆之运搬器至抛光垫上 ;与 一第二推进机构在该头部本体底面下方中央部位 处配置,其推动该固定环至抛光垫上。2.根据申请 专利范围第1项之晶圆抛光装置,其中该第一及第 二推进机构包括由橡胶层制造之空气囊。3.根据 申请专利范围第1项之晶圆抛光装置,其中该运搬 器之充气构件形成与晶圆相关之加压空气层,其经 由该加压空气层将第一推进机构之推进作用力传 递至晶圆。4.根据申请专利范围第2项之晶圆抛光 装置,其中该运搬器之充气构件形成与晶圆相关之 加压空气层,并经由该加压空气层将第一推进机构 之推进作用力传递至晶圆。图式简单说明: 第一图为根据本发明抛光晶圆装置一具体实施例 之垂直剖视图;与 第二图为传统抛光晶圆装置之垂直剖视图。 |
