| 主权项 |
1.一种多范围光纤反射式测微器,包含: 一光源,用以产生一光束入射至一目标表面; 一接收光纤排阵,包含复数根并列接收光纤,用以 对一被该目标表面所反射出之反射光进行撷取,而 由各接收光纤送出撷取光; 一光接收器排阵,包含复数个数量对应于该等接收 光纤数之光接收器,各用以接收各对应接收光纤所 送出之撷取光,并输出一对应于该撷取光之响应讯 号;以及 一处理器,根据该光接收器排阵所输出之各响应讯 号,产生一代表该目标表面位移距离的输出値。2. 如申请专利范围第1项所述之测微器,其中该光源 选自一连续光源与一脉冲光源两者其中之一。3. 如申请专利范围第1项所述之测微器,其中该接收 光纤排阵具有三根以上接收光纤。4.如申请专利 范围第1项所述之测微器,其中该入射至目标表面 之光束与该目标表面之法线的夹角小于或等于45 度角。5.如申请专利范围第1项所述之测微器,其中 各该接收光纤与各对应光接收器结合呈一体,俾降 低杂讯。6.如申请专利范围第1项所述之测微器,其 中该处理器根据来自具有较强撷取光之两相邻接 收光纤而得之两响应讯号,取其差动讯号与合成讯 号之比値而获得一当级输出电压,再加上一个等比 例电压,而输出一代表该目标表面目前所在位置之 量测値。7.如申请专利范围第6项之测微器,其中该 等比例电压等于该两相邻接收光纤间隔一参考点 之完整接收光纤数,乘以两相邻光纤所得当级输出 电压的最大差値,并附加方向系数而成。图式简单 说明: 第一图显示一根据本发明之较佳实施例而成之多 范围光纤反射式测微器之组合示意图。 第二图显示一在第一图所示组合下四条相邻接收 光纤之接收强度随位移变化的强度分布曲线图。 第三图显示一根据第一图所示组合而得之相对于 位移距离的电压输出典线图。 第四图显示出经由二相邻接收光纤而得之合成输 出値加成放大后相对于位移量之电压输出曲线图 。 |
