发明名称 |
由树脂制成应力吸收层的倒装片型半导体器件及制造方法 |
摘要 |
在倒装片型半导体器件中,多个平头电极(12、32)形成在半导体基片(11、31)上。由固化树脂制成的绝缘应力吸收树脂层(14、34、34’)形成在半导体基片上,并具有对应平头电极的开口(14a、34a)。多个柔性传导部件(16、21、36、38、51、61)填充在开口内。多个金属凸块(17)形成在柔性传导层上。 |
申请公布号 |
CN1295344A |
申请公布日期 |
2001.05.16 |
申请号 |
CN00133424.7 |
申请日期 |
2000.11.03 |
申请人 |
日本电气株式会社 |
发明人 |
本多广一 |
分类号 |
H01L23/12 |
主分类号 |
H01L23/12 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
戎志敏 |
主权项 |
1.一种倒装片型半导体器件,包括:半导体基片(11、13);形成在所述半导体基片上的多个平头电极(12、32);由热固化树脂制成的绝缘应力吸收树脂层(14、34、34’)形成在所述半导体基片上,并具有对应所述平头电极的开口(14a、34a);多个柔性传导部件(16、21、36、38、51、61),每一个充满所述开口之一;多个金属凸块(17),每一个凸块形成在一个柔性传导层上。 |
地址 |
日本东京都 |