发明名称 由树脂制成应力吸收层的倒装片型半导体器件及制造方法
摘要 在倒装片型半导体器件中,多个平头电极(12、32)形成在半导体基片(11、31)上。由固化树脂制成的绝缘应力吸收树脂层(14、34、34’)形成在半导体基片上,并具有对应平头电极的开口(14a、34a)。多个柔性传导部件(16、21、36、38、51、61)填充在开口内。多个金属凸块(17)形成在柔性传导层上。
申请公布号 CN1295344A 申请公布日期 2001.05.16
申请号 CN00133424.7 申请日期 2000.11.03
申请人 日本电气株式会社 发明人 本多广一
分类号 H01L23/12 主分类号 H01L23/12
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 戎志敏
主权项 1.一种倒装片型半导体器件,包括:半导体基片(11、13);形成在所述半导体基片上的多个平头电极(12、32);由热固化树脂制成的绝缘应力吸收树脂层(14、34、34’)形成在所述半导体基片上,并具有对应所述平头电极的开口(14a、34a);多个柔性传导部件(16、21、36、38、51、61),每一个充满所述开口之一;多个金属凸块(17),每一个凸块形成在一个柔性传导层上。
地址 日本东京都