发明名称 气体传感器及其制造方法
摘要 本发明公开的是气体传感器及其制造方法。其中,在基座上设有凹陷部位和三根引线,中间的引线弯向凹陷部位相反的一侧,其他的引线弯向凹陷部位。把传感器主体的中心电极安装在中间的引线和凹陷部位的底部,兼作加热器用的电极装在引线上,在小的基座上使传感器主体用四点支撑。
申请公布号 CN1295251A 申请公布日期 2001.05.16
申请号 CN00133439.5 申请日期 2000.11.01
申请人 费加罗技研株式会社 发明人 野村徹;吉村知子;田尻裕一朗;大越秀树;岸本让
分类号 G01N27/30;H01L49/00 主分类号 G01N27/30
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 武玉琴;朱登河
主权项 1.一种气体传感器,其特征为:该传感器具有的传感器主体是在兼作加热器用的线圈中穿入中心电极,把上述线圈和中心电极埋入金属氧化物半导体小珠内制成的,该气体传感器包括有至少三根引线和凹陷部位的基座,上述线圈的两端附近和上述中心电极的一端附近被装在上述三根引线上,上述小珠支撑在上述凹陷部位,而且上述中心电极的另一端附近被装在基座或另外的引线上。
地址 日本大阪