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发明名称 CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1099008(A1) 申请公布日期 2001.05.16
申请号 EP19990935736 申请日期 1999.07.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SCHMITT, JOHN;CHANG, FRANK, P.;GUO, XIN, SHENG;CHEN, LING;MARCADAL, CHRISTOPHE
分类号 C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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