MULTI-FUNCTION CHAMBER FOR A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM,申请号EP19990923820-传众专利搜索

发明名称	MULTI-FUNCTION CHAMBER FOR A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号	EP1099239(A2)	申请公布日期	2001.05.16
申请号	EP19990923820	申请日期	1999.05.20
申请人	APPLIED KOMATSU TECHNOLOGY, INC.	发明人	BLONIGAN, WENDELL T.;WHITE, JOHN M.;RICHTER, MICHAEL, W.
分类号	H01L21/302;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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