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发明名称 RECUPERO DEL DANNEGGIAMENTO DELL'OSSIDO DI CAMPO CAUSATO DA PROCESSIDI IMPIANTAZIONE IONICA AD ALTA ENERGIA E PROCEDIMENTI DI
摘要
申请公布号 IT1305829(B1) 申请公布日期 2001.05.16
申请号 IT1998VA00012 申请日期 1998.06.05
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 LOSAVIO ALDO
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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