| 发明名称 | 一种测量相对位置误差的装置 | ||
| 摘要 | 本发明有关一种用于测量在一激光束(14)和一目标(10)之间的相对位置误差的装置。目标(10)被提供有一圆孔(16),它占据一相对于所述目标(10)的参考位置。该装置具有将激光束聚焦于所述目标的平面中的装置(12),用于摄取所述圆孔和聚焦在所述目标的平面中的激光束的一图象的装置(17)、以及用于计算连接所述冲击点和所述圆孔中心的线段的分量的装置(18)。 | ||
| 申请公布号 | CN1295268A | 申请公布日期 | 2001.05.16 |
| 申请号 | CN00133808.0 | 申请日期 | 2000.11.03 |
| 申请人 | 奥托玛－泰克公司 | 发明人 | 塞尔日·沙博尼耶;戴维·克拉维耶 |
| 分类号 | G03F9/00;G01B11/02;G06T1/00 | 主分类号 | G03F9/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 张兆东 |
| 主权项 | 1．一种用于测量一激光束和一目标之间的相对位置误差的装置，其特征在于：所述目标被提供有一圆孔，该圆孔占据有一相对于所述目标的参考位置；且该装置还包括：-用于将激光束聚焦在所述目标的平面中的装置；以及-用于摄取所述圆孔和聚焦在所述目标的平面中的激光束的一个图象的装置，以及用于计算在所述激光束的冲击点和所述圆孔的中心间的线段的分量的装置。 | ||
| 地址 | 法国瓦德勒伊 | ||