用于表面检查的装置和方法

摘要

提供了一种光元件（２５），从而移动了入射到基板（７）上的扫描光（３２）的光轴，这样，两个光检测器（９）的光检测面的照亮位置彼此相同或几乎相同。从两个光检测器发出的各表面信息信号相应地彼此相同或信号间的差最小，从而使表面检查的测量精度得以提高。

主权项

1．一种表面检查装置，它包括：用于发出激光的激光元件(1)；具有多边形外周的折射扫描镜(4)，其外周的每个外表面都是镜面，折射扫描镜在外周方向绕其中轴转动，以在绕中轴转动期间反射从激光元件发射出的激光，该激光以与中轴的轴向正交的方向进入镜面；两个光电检测器(9)，每个光电检测器当由折射扫描镜反射的激光的反射光扫描物体的表面时，用于检测将被检查的物体表面的散射反射光，该两个光电检测器相对于扫描光的光轴对称安置，其中物体的表面是根据在光电检测器的光电检测表面上的照亮位置而检测的；和在折射反射镜与物体之间的光元件(25，35)，该光元件(25，35)用于移动通过折射扫描镜反射的反射光的光轴，从而使在各光电检测器的光电检测面的照亮位置彼此相同，进而使表面检查误差最小。