| 摘要 |
<p>Stellelement mit einer Membrane, deren äußerer Rand zwischen einem Gehäuse- und einem Deckelflansch eingespannt ist und die eine im Deckel bestehende Steuerdruckkammer begrenzt, deren Steuerdruckbeaufschlagung über einen Gehäuse- und einen Deckelkanal sowie eine beide Kanäle verbindende Membranrandausnehmung erfolgt, wobei zwischen dem Gehäusekanal (8) und der Membranrandausnehmung (10) und dieser und dem Deckelkanal (9) umlaufende Nutausnehmungen (11, 12) angeordnet sind. <IMAGE></p> |
