包括热隔离结构的热致动微型电动机械系统

摘要

一种微型电动机械结构包括微电子基底和微电子基底上间隔开的支撑件。梁在支撑件之间延伸并根据施加在其上的热量而膨胀以导致梁在支撑件之间移位。梁上热量的施加产生从梁通过支撑件并到基底的热传导通路。热传导通路中的热隔离结构包括在梁每端、在每个间隔开的支撑件中、在临近每个间隔开的支撑件的基底中的热隔离结构、和/或梁中的至少一个热隔离结构。其可提高微型电动机械结构的热效率并允许低功率、大偏移、大的力和/或高速度。

主权项

1．一种微型电动机械结构，包括：一个微电子基底；在微电子基底上间隔开的支撑件；一个梁，在间隔开的支撑件之间延伸并根据施加到其上的热量而膨胀从而导致梁在间隔开的支撑件之间移位，对梁上热量的施加产生从梁通过间隔开的支撑件并到基底中的热传导通路；以及在热传导通路中的热隔离结构，其减少从梁通过间隔开的支撑件并到基底中的热传导。