WAFER CARRIER AND METHOD FOR HANDLING OF WAFERS WITH MINIMAL CONTACT,申请号EP19990933854-传众专利搜索

发明名称	WAFER CARRIER AND METHOD FOR HANDLING OF WAFERS WITH MINIMAL CONTACT
摘要
申请公布号	EP1098830(A2)	申请公布日期	2001.05.16
申请号	EP19990933854	申请日期	1999.07.08
申请人	ASM AMERICA, INC.	发明人	CARR, PAUL, R.;JACOBSON, PAUL, T.;KUSBEL, JAMES, F.;ROUNDY, JAMES, S.;AGGARWAL, RAVINDER, K.;RAAIJMAKERS, IVO;LENZ, ROD;RAJBHARTI, NILESH
分类号	B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B65G49/07;H01L21/00	主分类号	B65G49/07
代理机构		代理人
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