| 主权项 |
1.一种以液体增浓气体之洗气瓶,在其包含之液体( 7)中,系具一液体入口开口(3)在其上部范围内,其中 该气体系导入洗气瓶(1)内,流经此液体(7),再将其 增浓后,导出其洗气瓶(1),其特征为,出口开口(13)除 了入口开口(3)外,且在洗气瓶(1)最下部设置一出口 开口。2.根据申请专利范围第1项所述之洗气瓶,其 特征为,气体可经多孔材料(8)导入液体(7)。3.根据 申请专利范围第2项所述之洗气瓶,其特征为,此多 孔材料(8)是烧结料。4.根据申请专利范围第2项所 述之洗气瓶,其特征为,多孔材料(8)之孔直径在100 m至160m间。5.根据申请专利范围第2项所述之 洗气瓶,其特征为,多孔材料(8)为要将气体导入液 体(7)内,其被设置在洗气瓶(1)之下部范围。6.根据 申请专利范围第1项所述之洗气瓶,其特征为,有一 管(6),气体从设在洗气瓶(1)上部范围之气体入口开 口(3),经此管流经至少液体(7)之一部分,到达洗气 瓶(1)之下部范围。7.根据申请专利范围第6项所述 之洗气瓶,其特征为,多孔材料(8)设于管(6)出口处 。8.根据申请专利范围第1项所述之洗气瓶,其特征 为,出口开口(13)有一封闭机制(14)。9.根据申请专 利范围第1项所述之洗气瓶,其特征为,洗气瓶(1)之 底部(11)向出口开口(13)倾斜。10.根据申请专利范 围第1项所述之洗气瓶,其特征为,至少设有两液面 感测器(9.10),用以控制洗气瓶(1)内所需之液面高度 。11.根据申请专利范围第1项所述之洗气瓶,其特 征为,液体(7)至少占有一半之洗气瓶体积。12.根据 申请专利范围第1项所述之洗气瓶,其特征为,其可 应用于晶片制造相关之处理、清洁及/或脱乾半导 晶圆。13.根据申请专利范围第1项所述之洗气瓶, 其特征为,液体是异丙醇(Isopro-pylalkohol),且气体为 氮气。 |
