| 摘要 |
<p>본 발명은 3중 계면 전자방출 원리를 이용한 전계방출소자에 관한 것이다. 본 발명의 전계방출소자는 전자방출을 위한 전계를 인가하기 위한 게이트 박막과, 전자를 공급하기 위한 음극과, 게이트막의 전면에 형성되어 전자를 방출하기 위한 이미터 박막을 구비하고, 진공영역이 음극과 이미터에 동시에 접하는 3중 계면영역을 가지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 저전압 구동이 가능한 3중 계면 전자방출 원리를 이용함에 있어 에칭과정이 필요없는 평면상태의 박막을 이미터로 이용함으로써 제조공정이 간단하여 대면적화가 용이한 장점이 있다.</p> |
