发明名称 REFLECTION REFRACTION IMAGE-FORMING OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS COMPRISING THE OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20010041257(A) 申请公布日期 2001.05.15
申请号 KR1020007009350 申请日期 2000.08.24
申请人 发明人
分类号 G02B17/08 主分类号 G02B17/08
代理机构 代理人
主权项
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