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经营范围
发明名称
WAFER CONTAINER WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20010040331(A)
申请公布日期
2001.05.15
申请号
KR1020007007611
申请日期
2000.07.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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