| 摘要 |
<p>공정 신뢰성 향상과 생산성 향상 및 비용 절감을 동시에 이룰 수 있도록 한 압력 센서 패키지 제조방법이 개시된다. 실리콘 웨이퍼의 백면에 '내화성 금속막/우수한 전도성 및 솔더에 젖음성이 좋은 특성을 갖는 금속막/산화방지용 금속막'의 적층 구조를 갖는 제 1 금속막을 형성하고, 다이어프램 형성부를 한정하는 마스크 패턴을 이용하여 상기 제 1 금속막과 상기 실리콘 웨이퍼의 일부를 선택식각하여 압력 센서를 제조한 다음, 소잉 공정을 이용하여 상기 압력 센서를 각각의 단위 센서들로 분리한다. 금형 가공법이나 압축 성형법을 이용하여 내부에는 관통 홀이 구비되고, 단위 센서의 크기를 가지며, 실리콘과 유사한 열팽창 계수를 갖는 임의막을 형성한 다음, 도금 공정을 이용하여 상기 임의막의 전 표면에 제 2 금속막을 형성한다. 메탈 캔 본체에는 솔더를 사이에 두고 제 2 금속막이 구비된 상기 임의막이 놓여지고, 상기 임의막 상의 제 2 금속막 상에는 솔더를 사이에 두고 상기 압력 센서를 이루는 상기 제 1 금속막이 놓여지도록 이들을 각각 위치 정렬하고, 솔더의 융점 이상의 온도에서 상기 메탈 캔 본체에 상기 임의막과 상기 압력 센서를 접합시켜 준다.</p> |
