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发明名称
METHOD FOR USING A HARD MASK FOR CRITICAL DIMENSION GROWTH CONTAINMENT
摘要
申请公布号
KR20010040371(A)
申请公布日期
2001.05.15
申请号
KR1020007007953
申请日期
2000.07.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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