| 发明名称 |
Chemical fluid deposition for the formation of metal and metal alloy films on patterned and unpatterned substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU1457301(A) |
申请公布日期 |
2001.05.14 |
| 申请号 |
AU20010014573 |
申请日期 |
2000.11.02 |
| 申请人 |
UNIVERSITY OF MASSACHUSETTS |
发明人 |
JAMES J. WATKINS;JAMES M. BLACKBURN;DAVID P. LONG;JASON L. LAZORCIK |
| 分类号 |
C23C18/16;C23C18/00;C25D5/34;C25D7/12;H01L21/208;H01L21/288;H01L21/316;H01L21/368;H01L21/768 |
主分类号 |
C23C18/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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