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发明名称
摘要
申请公布号	JP3165029(B2)	申请公布日期	2001.05.14
申请号	JP19960078328	申请日期	1996.03.06
申请人		发明人
分类号	H01L23/473;H01L23/48;(IPC1-7):H01L23/473	主分类号	H01L23/473
代理机构		代理人
主权项
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