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发明名称
摘要
申请公布号
JPS4934750(A)
申请公布日期
1974.03.30
申请号
JP19720076754
申请日期
1972.07.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/30;G06F17/50;G06T1/00;H01L21/027;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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