| 发明名称 |
A method for improving the performance of micromachined devices |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU7859000(A) |
申请公布日期 |
2001.05.10 |
| 申请号 |
AU20000078590 |
申请日期 |
2000.10.05 |
| 申请人 |
L-3 COMMUNICATIONS CORPORATION |
发明人 |
ERIC ABBOTT;RANDY SPRAGUE;JAMES MICHAEL MCLAUGHLIN |
| 分类号 |
G01C19/56;G01P15/097;G01P15/10 |
主分类号 |
G01C19/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
