| 发明名称 |
Single step process for epitaxial lateral overgrowth of nitride based materials |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU7844100(A) |
申请公布日期 |
2001.05.10 |
| 申请号 |
AU20000078441 |
申请日期 |
2000.10.02 |
| 申请人 |
CORNELL RESEARCH FOUNDATION INC. |
发明人 |
JAMES R. SHEALY;JOSEPH A. SMART |
| 分类号 |
C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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