| 发明名称 |
Cmp products |
| 摘要 |
CMP processes and products employ aluminas comprising alpha alumina particles having a particle width of less than 50 nanometers and a surface area of at least 50 m2/gm. |
| 申请公布号 |
AU7090200(A) |
申请公布日期 |
2001.05.10 |
| 申请号 |
AU20000070902 |
申请日期 |
2000.08.30 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC. |
发明人 |
AJAY K. GARG;BRAHMANANDAM V. TANIKELLA;WILLIAM R. DELANEY |
| 分类号 |
B24B37/00;C01F7/44;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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