Substrathalter und Verwendung des Substrathalters in einem hochgenauen Messgerät

摘要

Die Erfindung offenbart einen Substrathalter (8), der zur Aufnahme eines Substrats (20) ausgebildet ist und zur Bestimmung der Dickenabweichung eines Substrats von der Normdicke eines bestimmten Substrattyps herangezogen werden kann. Der Substrathalter (8) besteht aus einem einstückigen Rahmen mit einer flachen Oberseite (42). Im Substrathalter (8) ist eine Aussparung (30) vorgesehen, die einen umlaufenden Rand (32) definiert. Am umlaufenden Rand (32) der Aussparung (30) sind Aufnahmeelemente (34) ausgeformt, auf denen Kugeln vorgesehen sind. Ein in den Substrathalter (8) eingelegtes Substrat (20) kommt somit auf den Oberseiten der Kugeln zu liegen. Die Aufnahmeelemente (34) sind derart am umlaufenden Rand der Aussparung (30) angeordnet, dass sie auf den Eckpunkten eines gleichschenkligen Dreiecks liegen. Ferner ist der Abstand von der Oberseite der Kugel zur flachen Oberseite (42) des Substrathalters (8) derart bemessen, dass dieser Abstand im Wesentlichen der Normdicke des verwendeten Substrats entspricht.