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发明名称 Method for producing cobalt-based alloy sputter target
摘要
申请公布号 AU7591400(A) 申请公布日期 2001.05.10
申请号 AU20000075914 申请日期 2000.09.20
申请人 HERAEUS, INC. 发明人 MICHAEL BARTHOLOMEUSZ;MICHAEL TSAI;ANAND DEODUTT
分类号 C22F1/10;C23C14/34 主分类号 C22F1/10
代理机构 代理人
主权项
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