发明名称 Method and apparatus for separation of SF<sub>6</sub> from CF<sub>4</sub>/air-containing gas stream
摘要 A method and apparatus for the separation and recovery of SF6 from a gas mixture consisting essentially of SF6, CF4, and N2. The method and apparatus involve membrane separation to separate N2 from SF6 and CF4, and liquefaction to separate SF6 from CF4.
申请公布号 AU7825800(A) 申请公布日期 2001.05.10
申请号 AU20000078258 申请日期 2000.10.02
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET, L'EXPLOITATION 发明人 YAO-EN LI
分类号 B01D53/00;B01D53/22;F25J3/00;F25J3/06;F25J3/08 主分类号 B01D53/00
代理机构 代理人
主权项
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