发明名称 |
Method and apparatus for separation of SF<sub>6</sub> from CF<sub>4</sub>/air-containing gas stream |
摘要 |
A method and apparatus for the separation and recovery of SF6 from a gas mixture consisting essentially of SF6, CF4, and N2. The method and apparatus involve membrane separation to separate N2 from SF6 and CF4, and liquefaction to separate SF6 from CF4. |
申请公布号 |
AU7825800(A) |
申请公布日期 |
2001.05.10 |
申请号 |
AU20000078258 |
申请日期 |
2000.10.02 |
申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET, L'EXPLOITATION |
发明人 |
YAO-EN LI |
分类号 |
B01D53/00;B01D53/22;F25J3/00;F25J3/06;F25J3/08 |
主分类号 |
B01D53/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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