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发明名称
摘要
申请公布号
JP3162580(B2)
申请公布日期
2001.05.08
申请号
JP19940187596
申请日期
1994.08.09
申请人
发明人
分类号
B28D5/00;H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301
主分类号
B28D5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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