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发明名称
摘要
申请公布号
JP3163758(B2)
申请公布日期
2001.05.08
申请号
JP19920173705
申请日期
1992.06.09
申请人
发明人
分类号
H01L29/74;H01L29/747;H01L29/861;H01L29/87;H02H9/04;(IPC1-7):H01L29/747
主分类号
H01L29/74
代理机构
代理人
主权项
地址
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