发明名称
摘要
申请公布号 JP3163758(B2) 申请公布日期 2001.05.08
申请号 JP19920173705 申请日期 1992.06.09
申请人 发明人
分类号 H01L29/74;H01L29/747;H01L29/861;H01L29/87;H02H9/04;(IPC1-7):H01L29/747 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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