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发明名称
摘要
申请公布号	JP3164097(B2)	申请公布日期	2001.05.08
申请号	JP19990043875	申请日期	1999.02.22
申请人		发明人
分类号	H01L27/04;G06F17/50;H01L21/82;H01L21/822;(IPC1-7):H01L21/82	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
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