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发明名称
摘要
申请公布号	JP3164025(B2)	申请公布日期	2001.05.08
申请号	JP19970209437	申请日期	1997.08.04
申请人		发明人
分类号	H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/04	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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