发明名称 Method and radiation generating system using microtargets
摘要
申请公布号 AU1241401(A) 申请公布日期 2001.05.08
申请号 AU20010012414 申请日期 2000.10.27
申请人 JMAR RESEARCH, INC. 发明人 I. C. EDMOND TURCU;RICHARD M. FOSTER;CAREY A. PICO;JAMES H. MORRIS;MICHAEL F. POWERS;JOHN H. CAROSELLA
分类号 H05G1/02;G03F7/20;H01J35/08;H01J35/16;H05G1/00;H05G2/00;H05H6/00 主分类号 H05G1/02
代理机构 代理人
主权项
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