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发明名称
摘要
申请公布号 JP3164018(B2) 申请公布日期 2001.05.08
申请号 JP19970128596 申请日期 1997.05.19
申请人 发明人
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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