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发明名称
摘要
申请公布号 JP3164060(B2) 申请公布日期 2001.05.08
申请号 JP19980129860 申请日期 1998.05.13
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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